蝕刻機和光刻機一樣重要
發(fā)布時(shí)間:2022-07-18
了解半導體的人都知道,光刻機是制造芯片的核心設備。沒(méi)有它,就很難制造先進(jìn)的芯片。但實(shí)際上,在芯片制造過(guò)程中,另一個(gè)關(guān)鍵設備“蝕刻機”也很重要。蝕刻機在技術(shù)上可能沒(méi)有光刻機那么難,但也是芯片制造中不可或缺的重要一環(huán),主要體現在它在制造中的投資設備比例大,工作原理在制造中的不可或缺。
在芯片制造過(guò)程中,光刻機已經(jīng)完成了自己的工作,所以需要從蝕刻機開(kāi)始進(jìn)行二次加工,形成一個(gè)完整的芯片制造工藝鏈??梢哉f(shuō),蝕刻機是光刻之后必不可少的設備,也是輔助光刻機工作的重要環(huán)節。